通常，陶瓷球的精度對于陶瓷軸承的運轉精度和高速性有很大影響，緊密和超精密主軸采用的陶瓷球的公差等級為G5，其球的直徑變動和球型誤差≦0.13μm，因此，為了高效的保證達到精度要求，使用金剛石磨具對其進行加工，加工的要點如下：
(1)要經過粗、精、超精研磨和拋光等多到工序，由粗到精逐漸減小磨料粒度、研磨壓力和研磨速度，并逐步延長研磨時間。
(2)降低金剛石磨具研磨壓力并且減小研磨盤的跳動。
(3)研磨劑應遵循少量勤添的原則。
(4)陶瓷球的材料應采用致密和缺陷小的熱流體等靜壓燒結。
(5)采用錐形研磨法一提高研磨效率。
遵循陶瓷球的加工要求，利用金剛石磨具以及其他的工具，使其達到超精細的加工效果。